FS 系列

      外型小巧、低成本、高速沖程的氣動風囊泵
高速沖程
      提升泵的沖程速度 (最高達240 spm)，讓制造過程中，大大減少泵的尺寸、重量、成本，及降低脈動。
高速沖程

      提升泵的沖程速度 (最高達240 spm)，讓制造過程中，大大減少泵的尺寸、重量、成本，及降低脈動。
無污染設計
      過流端零件均采用氟樹脂材質，沒有金屬零件外露的設計，外殼采用氟樹脂材質。使用獨有的軸封 ，能顯著降低顆粒的產生。液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力
      液體輸送溫度范圍高達5 - 180°C，吐出壓力高達45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程，同時適用于化學液體供藥。
易于維護
      更換開關無需拆卸，不需定期收緊螺栓，減少了停機時間。
傳感器驅動系統
      內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量

規格

      流量范圍:0~100 L/min

      出口壓力:0.5 MPa

      耗氣量:0~670 NL/min

      沖程率:240 spm

      主要材質:PTFE, PFA

      液體輸送溫度范圍:5 ~ 180 °C

應用：     
      適用于半導體、太陽能、LED、面板業、光電業、
      電子業等供酸系統與制程系統的廣泛應用，
      適合中流量制程，高純度化學品的輸送。
      高密度 PE 車制而成，組成無任何金屬零件；
      可分離式氣閥設計，
      可依空間需求調整，氣密佳、低耗氣量；
      低壓穩定不卡機。